场发射扫描电镜（ZEISSMERLIN Compact）
主要技术参数：
分辨率 0.8nm @ 15 KV
放大倍数 12 – 2000000 X
加速电压 0.02 – 30 KV
探针电流 5 PA – 20 nA
样品室 330mm * 270mm
样品台 5轴中心全自动
ZEISS MERLIN Compact型高分辨率场发射扫描电镜购置于2014年，是我院“十二五”综合投资购买的大型仪器设备，总价300万元，主要用于纳米结构分析、金属和非金属材料检验研究以及元素化学成分分析等。仪器面向全院师生开放，也提供本校材料学院、电信学院及其他高校和科研院所使用，并向社会开放使用，实现资源共享。仪器开机率达100%。
